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COIL用薄膜90度位相延迟高反射镜的研制
发布时间:2012-12-05   点击次数:1695次

北京锦坤科技有限公司www.jonkon.com.cn

1、(中国科学院大连化学物理研究所,辽宁大连116023)

2、( 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所,吉林长春130021)

摘!要:随着氧碘化学激光器(COIL)的不断提高,传统的膜系设计已不能满足要求。在倍频膜系的设计基础上,优化设计出了激光45度入射对1315nm和632.8nm双波长高反(HR)并在1315nm处具有90度相位延迟的高反射镜,其基底材料为融石英,高折射率材料为ZrO2,低折射率材料为SiO2。然后,采用电子束蒸发手段制备了口径为200nm的高反射相位迟镜。zui后对该延迟镜的性能进行了测试,结果表明:对632.8nm的 波长的反射率大于等于95.0% ,对1315nm波长的反射率大于等于99.8% ,位相延迟在90.235度到95.586度。
关键词:氧碘化学激光器;位相延迟;倍频膜系
中图分类号:TN258.5           文献标识码:A

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