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1、（中国科学院大连化学物理研究所，辽宁大连116023）

2、（ 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所，吉林长春130021）

摘!要：随着氧碘化学激光器（COIL）的不断提高，传统的膜系设计已不能满足要求。在倍频膜系的设计基础上，优化设计出了激光45度入射对1315nm和632.8nm双波长高反（HR）并在1315nm处具有90度相位延迟的高反射镜，其基底材料为融石英，高折射率材料为ZrO₂，低折射率材料为S_iO₂。然后，采用电子束蒸发手段制备了口径为200nm的高反射相位迟镜。zui后对该延迟镜的性能进行了测试，结果表明：对632.8nm的 波长的反射率大于等于95.0% ，对1315nm波长的反射率大于等于99.8% ，位相延迟在90.235度到95.586度。
关键词：氧碘化学激光器；位相延迟；倍频膜系
中图分类号：TN258.5           文献标识码：A

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