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  • 此系列的微机械扫描镜分为1D和2D产品,即根据其其扫描轴为单轴或双轴而不同。此类微光机电光束扫描镜也被称为微扫描镜或者微光机电光束偏转器。
  • 本产品为基于微光机电的微机械激光光束偏转器(MEMSlaserdeflectionmirror),微光机电激光扫描器,也成为MEMS激光扫描镜。广泛应用于数据采集,投影以及其它各种应用场合。微机械激光光束扫描镜可提供小尺寸,大扫描角度,高扫描频率的产品,适用于各种小体积的产品中。
  • 本系列的激光偏转器(激光扫描器)是激光扫描器产品中的新型产品,是用于机械加工,打孔,激光光束偏转的理想产品。扫描精确度小于1milliradian,分辨力小于0.1milliradian.扫描速度达6000RPM.
  • 此系列产品为微镜阵列,即采用微光机电光束偏转镜组成的镜面整列。适用波长可从深紫外至近红外(DUVtoNIR,193nm~1500nm)。镜面可由256×256个微镜面组成,每个镜面为16um*16um。扫描频率可达1KHz。可用做图形的产生,可编程掩膜板等。
  • 本产品为高速光束偏转器,重复频率可达25MHz,偏转角度大于3度。可用于高速光切换,宽带滤波,图像及数据处理,等场合。
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