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位移传感器

  • 型   号:Nanogage
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此款位移传感器为nm级别光学,分辨率可达10nm,测量范围100um.不同于常用的电容式,由于其采用光学设计,具有对电磁免疫,可用于复杂的强电磁环境中。由于采用多种技术,使其灵敏度达到干涉仪级别。

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位移传感器的特点:此款位移传感器为nm级别光学,分辨率可达10nm,测量范围100um.不同于常用的电容式,由于其采用光学设计,具有对电磁免疫,可用于复杂的强电磁环境中。由于采用多种技术,使其灵敏度达到干涉仪级别。


具有如下特色:
1.对温度变化不敏感。
2.对电场,磁场及电磁辐射免疫。
3.具有大的可测范围,对传感器定位精度要求不高。
4.具有高的测量带宽,适合于振动分析及高速测量。
5.具有小的测试区域。测试点大小可为30um~400um的测试光斑。

可应用于如下各场合:
1.定位控制。
2.振动测试。
3.离轴测量。
4.表面特性测试。
5.薄膜或涂层的厚度测量。

 

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